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详解下硅片单面减薄设备的应用

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详解下硅片单面减薄设备的应用

【概要描述】  所述圆形固定板外侧设有支撑在支架上的同心转轴,所述同心转轴应用传动机构与设于箱体外侧的驱动电机相连,所述箱体内另设有加温、降温用的耐腐蚀循环水管。硅片减薄漂片机,所述圆形固定板对应四根提篮杆中的三根提篮杆位置设有圆形装置孔,对应余下的一根提篮杆位置设有U形装置卡槽,以便于取放硅片。

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  所述圆形固定板外侧设有支撑在支架上的同心转轴,所述同心转轴应用传动机构与设于箱体外侧的驱动电机相连,所述箱体内另设有加温、降温用的耐腐蚀循环水管。硅片减薄漂片机,所述圆形固定板对应四根提篮杆中的三根提篮杆位置设有圆形装置孔,对应余下的一根提篮杆位置设有U形装置卡槽,以便于取放硅片。

 

  硅片减薄漂片机,所述支架上设有对应同心转轴的U形槽,所述同心转轴支撑于U形槽的槽底,同时便当放置旋转提篮。硅片减薄漂片机,所述传动机构由设于同心转轴上的从动锥形齿轮、与从动锥形齿轮啮合的主动锥形齿轮组成,所述主动锥形齿轮应用联轴器与驱动电机的输出轴端部衔接,所述驱动电机倒置于箱体顶部。

  硅片减薄漂片机,所述耐腐蚀循环水管沿箱体内壁蛇形排布。经过旋转提篮带动硅片在装有酸液的箱体内旋转,旋转的同时完成减薄,关于原始硅片有效的控制了单片平均性、反复性和稳定性,进步了最终废品率。

  经过设于箱体内的加温、降温用的耐腐蚀循环水管,完成酸温丈量、酸温控制,防止了酸温过高形成的浮胶现象,酸温过低硅片腐蚀速度慢、漂片不平均,保证了腐蚀反响契合设计计算请求的腐蚀效率和平均性,由于提篮杆沿其长度方向平均设有多个径向环形槽,则可完成大量硅片的同时装夹,完成硅片减薄的批量消费。

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